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CCI HD 非接觸式光學 3D 輪廓儀

測量性能上，CCI HD 針對不同厚度涂層展現出優(yōu)異的適應性：

厚膜測量：可精準分析厚度達約 1.5 微米的半透明涂料，廣泛應用于相關材料的研發(fā)與生產檢測。需注意的是，實際測量的厚度上限會受材料折射率及標的物數值孔徑（NA）影響，需根據具體檢測對象進行參數適配。

薄膜測量：突破了薄涂層測量的技術難點，借助的干涉測量法，能夠對厚度低至 50 納米的薄膜涂層進行穩(wěn)定測量（測量下限同樣與材料折射率相關）。更值得關注的是，通過這一新型測量方法，可在單次測量流程中同步獲取膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷及薄涂層表面剝離等關鍵特性參數，大幅提升檢測效率與數據完整性，為薄膜材料的質量控制與性能研究提供全面數據支撐。